[发明专利]一种掺杂石墨烯的制备方法无效
申请号: | 201110343273.2 | 申请日: | 2011-11-03 |
公开(公告)号: | CN103088312A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 周明杰;袁新生;王要兵 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C01B31/02 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种掺杂石墨烯的制备方法,包括以下步骤:将金属材质的衬底清洗后烘干;将烘干后的衬底设置在反应室中,往反应室通入保护性气体,并保持1~60分钟;随后将反应室加热至750~1100℃,通入气流量为20~1000sccm的气态含碳物质以及气流量为10~200sccm的气态含氮物质进行反应,且C∶N原子比为2~20∶1,保持1~300分钟的反应后在衬底表面制得掺杂石墨烯。本发明无需额外制备催化剂,工艺和设备简单,操作简易可行,与其它掺氮方法相比,所制得的产品氧含量低、掺氮量易控制和掺杂均匀等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 掺杂 石墨 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种掺杂石墨烯的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将金属材质的衬底清洗后烘干;(2)将烘干后的衬底设置在反应室中,往反应室通入气流量为10~1000sccm的保护性气体,并保持1~60分钟;(3)随后将反应室加热至750~1100℃,通入气流量为20~1000sccm的气态含碳物质以及气流量为10~200sccm的气态含氮物质进行反应,且C∶N原子比为2~20∶1,保持1~300分钟的反应后在衬底表面制得掺杂石墨烯。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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