[发明专利]一种抗总剂量辐射效应的大头条形栅MOS管版图加固结构无效

专利信息
申请号: 201110343583.4 申请日: 2011-11-03
公开(公告)号: CN102412303A 公开(公告)日: 2012-04-11
发明(设计)人: 罗静;王栋;邹文英;薛忠杰;周昕杰;胡永强 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第五十八研究所
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/06;H01L29/43
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所 32104 代理人: 殷红梅
地址: 214035 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种抗总剂量辐射效应的大头条形栅MOS管版图加固结构,器包括半导体基板;所述半导体基板上设置有源区,所述有源区内设置对称分布的场氧区,所述场氧区通过对应的有源区隔离;所述有源区内设有栅极端,场氧区对称分布于栅极端两侧;所述栅极端包括中间部及对称分布于所述中间部上的大头端部,所述大头端部的宽度大于中间部的端部;有源区上对应于中间部的两侧设置源端及漏端。本发明在总剂量条件下,对能有效抑制边缘寄生管导通;不但可以节省面积,同时不受NMOS管宽长比的影响,易于实现宽长较小的NMOS管,同时在版图设计和布局布线上具有更大的灵活性;结构紧凑,节省面积,适用性广,提高抗总剂量辐射效应的效果。
搜索关键词: 一种 剂量 辐射 效应 大头 条形 mos 版图 加固 结构
【主权项】:
一种抗总剂量辐射效应的大头条形栅MOS管版图加固结构,包括半导体基板,所述半导体基板上设置有源区(2);其特征是:所述有源区(2)内设置对称分布的场氧区(17),所述场氧区(17)通过对应的有源区(2)隔离;所述有源区(2)内设有栅极端(1),场氧区(17)对称分布于栅极端(1)两侧;所述栅极端(1)包括中间部(19)及对称分布于所述中间部(19)上的大头端部(15),所述大头端部(15)的宽度大于中间部(19)的端部;有源区(2)上对应于中间部(19)的两侧设置源端(3)及漏端(4)。
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