[发明专利]等静压碳化硅石墨坩埚成型装置无效

专利信息
申请号: 201110344504.1 申请日: 2011-11-04
公开(公告)号: CN103085158A 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: 周琰 申请(专利权)人: 中科恒达石墨股份有限公司
主分类号: B28B3/00 分类号: B28B3/00
代理公司: 宜昌市三峡专利事务所 42103 代理人: 成钢
地址: 443100 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种等静压碳化硅石墨坩埚成型装置,缸体内设有上活塞和下活塞,上活塞和下活塞之间设有钢丝层,钢丝层内设有超高压腔,橡胶模具和金属模具通过支撑架安装在超高压腔内,超高压腔与预加压泵和增压油缸连通。本发明提供的一种等静压碳化硅石墨坩埚成型装置,利用液体介质不可压缩的性质和均匀传递压力的性质从各个方向对成型坩埚进行均匀加压,当液体介质通过压力泵注入超高压腔时,根据流体力学原理,其压强大小不变且均匀地传递到各个方向。此时超高压腔中的坩埚粉料在各个方向上受到的压力是均匀的和大小一致的,通过上述方法使坩埚粉料成型致密,避免出现冷缩和气孔的缺陷,从而延长了碳化硅石墨坩埚的使用寿命。
搜索关键词: 静压 碳化硅 石墨 坩埚 成型 装置
【主权项】:
一种等静压碳化硅石墨坩埚成型装置,其特征在于:缸体(13)内设有上活塞(11)和下活塞(12),上活塞(11)和下活塞(12)之间设有钢丝层(3),钢丝层(3)内设有超高压腔(7),橡胶模具(4)和金属模具(6)通过支撑架安装在超高压腔(7)内,超高压腔(7)与预加压泵(9)和增压油缸(10)连通。
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