[发明专利]一种表面等离子共振传感器

摘要

本发明公开了一种基于平面介质栅耦合的表面等离子共振传感器，包括平面介质栅，纳米厚度金属膜和玻璃基底，所述的平面介质栅的上表面与环境介质接触，环境中被探测物质的折射率改变导致入射波矢量的改变，导致平面正弦栅的衍射谱的改变；所述的平面介质栅的下表面与纳米厚度金属膜相连，平面介质栅引入的额外波矢量，能在界面处激发表面等离子共振效应。平面介质栅由光折变材料组成，其介电常数在空间上正弦分布；所述平面介质栅光栅矢量K可以倾斜。此传感器具有制备简单，由于每层都是平面结构易于光学集成，可以向低成本，集成化，阵列化发展，且工作稳定和灵敏度高的优点，在矿井安全，空气污染等领域提供了有效的研究手段。

主权项

一种表面等离子共振传感器，包括纳米厚度金属膜和玻璃基底，其特征在于，还包括平面介质栅,所述的平面介质栅的上表面与环境介质接触，下表面与所述纳米厚度金属膜相连；所述平面介质栅的厚度为60nm‑200nm，可调度为0.05‑0.15，所述纳米厚度金属膜的厚度为50nm‑200nm。