[发明专利]一种激光检测装置无效
| 申请号： | 201110345365.4 | 申请日： | 2011-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN102506712A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 席峰;王佳;刘训春;李勇滔;李楠;张庆钊;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01P3/36 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空等离子体设备技术领域，具体涉及一种应用于真空等离子体设备的激光检测装置。所述激光检测装置，包括激光器筒体和设置在所述激光器筒体下方的激光器，所述激光器筒体下端设有透光玻璃；所述激光检测装置设置在真空室下部。本发明设置在真空室外部，实现动态检测载片台位置和移动速度，在等离子体工艺中可以保持真空腔室对真空度的要求；保持激光器结构和信号采集不会受等离子电磁场的干扰；等离子体启辉条件下，不会污染激光检测装置，同时便于操作和维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种激光检测装置，其特征在于：包括激光器筒体和设置在所述激光器筒体下方的激光器，所述激光器筒体下端设有透光玻璃；所述激光检测装置设置在真空室下部。
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