[发明专利]高真空环境下实现液体样品池厚度微量可控装置及其控制方法无效
| 申请号： | 201110346173.5 | 申请日： | 2011-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN102436267A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 卢启鹏;彭忠琦;邰仁忠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G05D5/02 | 分类号： | G05D5/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 高真空环境下实现液体样品池厚度微量可控方法及装置涉及精密测量领域，包括三个压电陶瓷真空密封接线座、三个压电陶瓷、三个不锈钢球、真空密封圈、支座、两个硅片窗口、三个高磁通量磁铁和密封板，所说的压电陶瓷装在压电陶瓷真空密封接线座的底端，不锈钢球装在压电陶瓷的底端，支座上开有三个互成120°的螺纹孔，支座径向上与螺纹孔对应的位置一前一后开有密封槽和三个磁铁槽，真空密封圈放在密封槽内，三个高磁通量磁铁分别放在三个磁铁槽内，压电陶瓷真空密封接线座旋入螺纹孔中，密封板装在支座底端，密封板与支座之间装有两片硅片窗口。本发明解决了液体的均匀性、可控性差的缺点，实现了高真空环境条件下液体样品池厚度精确微量控制。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 环境 实现 液体 样品 厚度 微量 可控 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
高真空环境下实现液体样品池厚度微量可控装置，其特征在于，包括三个压电陶瓷真空密封接线座(1)、三个压电陶瓷(2)、三个不锈钢球(3)、真空密封圈(4)、支座(5)、两个硅片窗口(6)、三个高磁通量磁铁(7)和密封板(8)，所说的压电陶瓷(2)装在压电陶瓷真空密封接线座(1)的底端，不锈钢球(3)装在压电陶瓷(2)的底端，支座(5)上开有三个互成120°的螺纹孔(10)，支座(5)径向上与螺纹孔(10)对应的位置一前一后开有密封槽(14)和三个磁铁槽(11)，真空密封圈(4)放在密封槽(14)内，三个高磁通量磁铁(7)分别放在三个磁铁槽(11)内，压电陶瓷真空密封接线座(1)旋入螺纹孔(10)中，密封板(8)装在支座(5)底端，密封板(8)与支座(5)之间装有两片硅片窗口(6)。
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