[发明专利]一种工模具表面耐磨涂层的制备方法

摘要

本发明公开一种工模具表面耐磨涂层的制备方法，涂层材料为高纯度的Ti、Cr金属和N2、Ar，在非平衡磁控溅射离子镀设备内，在电磁场和等离子场的作用下，Ti、Cr、Ar和N2电离成离子，在电场作用下在工模具表面反应生成TiN/Cr的复合膜；Ti、Cr金属在非平衡磁控溅射离子镀设备内按一定规律排列，工模具随着非平衡磁控溅射离子镀设备的工件架一起转动，制备出TiN/Cr的复合膜。与现有技术相比，本发明提供的工模具表面耐磨涂层的制备方法，TiN/CrN复合膜涂层可根据不同条件，调整膜层的成分、厚度和膜层过渡层，从而降低膜层的内应力，充分发挥TiN的高硬度、CrN的低摩擦力的优点，且TiN/CrN复合膜涂层在生产过程中无废水废气，对环境无污染，环境效益高。

主权项

一种工模具表面耐磨涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)工模具的清洗，去除工模具表面的氧化皮、附着物等杂质；(2)去除工模具表面的油脂；(3)漂洗掉工模具表面去油污物质的残留物；(4)工模具除水并干燥；(5)工模具放入非平衡磁控溅射离子镀设备的工件架上，使非平衡磁控溅射离子镀设备达到一定的真空度；(6)利用Ar、Ti、AL、Cr的离子对工模具表面刻蚀，使其露出洁净表面；(7)涂层材料为高纯度的Ti、Cr金属和N2、Ar，在非平衡磁控溅射离子镀设备内，在电磁场和等离子场的作用下，Ti、Cr、Ar和N2电离成离子，在电场作用下在工模具表面反应生成TiN/Cr的复合膜；(8)Ti、Cr金属在非平衡磁控溅射离子镀设备内按一定规律排列，工模具随着非平衡磁控溅射离子镀设备的工件架一起转动，制备出TiN/Cr的复合膜。