[发明专利]一种光纤氢气传感器用氢敏材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种光纤氢气传感器用氢敏材料及其制备方法。该薄膜材料包括基底和合金薄膜；基底的材料为金属、半导体或绝缘体材料；合金薄膜材料基本成分为Pd和Y，化学组成为Pd[1-x-y]Y[x]α[y]，其中α为Pt、Ag、Au、Ni、Cu、Al、Li和B中的任一种，或者为La、Ru、Ce、Pr、Nd和Pm中的至少一种，0＜x≤0.3，0≤y≤0.3；合金薄膜材料厚度2～1000nm。制备方法，首先用感应熔炼或粉末冶金方法预制合金靶，然后通过物理气相层积方法，在基片上制成合金薄膜材料；或者利用多个纯靶材，直接在基片材料上多靶共溅层积，制成合金薄膜材料。光纤氢气传感器具有抗干扰能力强，安全性好，可靠性高的特点。可广泛用于各种需要检测氢气泄露的情况。

主权项

一种光纤氢气传感器用氢敏材料，其特征在于，该薄膜材料包括基底和合金薄膜；所述的基底的材料为金属、半导体或绝缘体材料；所述的合金薄膜材料基本成分为Pd和Y，化学组成为Pd[1‑x‑y]Y[x]α[y]，其中α为Pt、Ag、Au、Ni、Cu、Al、Li和B中的任一种，或者为La、Ru、Ce、Pr、Nd和Pm中的至少一种，0＜x≤0.3，0≤y≤0.3；所述的合金薄膜材料厚度2～1000nm。