[发明专利]一种夹持装置及应用该夹持装置的等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201110350125.3 | 申请日： | 2011-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103094037A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 韦刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种夹持装置及等离子体加工设备，所述夹持装置包括托盘和盖板，在所述盖板上设有贯穿托盘厚度的第一通孔，被加工工件设置在所述托盘和盖板之间、且与所述第一通孔的位置相对，所述托盘的上表面与所述被加工工件的上表面之间的距离等于或大于所述被加工工件的厚度；而且，在所述托盘与所述盖板之间设有用以减小所述托盘的上表面与所述被加工工件的上表面之间的电位差的调节板，在所述调节板上设有与所述第一通孔位置相对应的第二通孔，所述被加工工件的外周缘与所述第二通孔的内周缘紧密接触。所述夹持装置可以提高被加工工件的刻蚀形貌的对称性，从而不仅可以提高被加工工件的刻蚀效果，而且可以提高被加工工件的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 装置 应用 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种夹持装置，包括托盘和盖板，在所述盖板上设有贯穿盖板厚度的第一通孔，被加工工件位于所述托盘和盖板之间、且与所述第一通孔的位置相对，其特征在于，所述托盘的上表面与所述被加工工件的上表面之间的距离等于或大于所述被加工工件的厚度，而且，在所述托盘与所述盖板之间设有用以减小所述托盘的上表面与所述被加工工件的上表面之间的电位差的调节板，在所述调节板上设有与所述第一通孔位置相对应的第二通孔，所述被加工工件的外周缘与所述第二通孔的内周缘紧密接触。
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