[发明专利]多晶硅铸锭炉的可变热交换装置及其控制方法无效
申请号: | 201110350723.0 | 申请日: | 2011-11-08 |
公开(公告)号: | CN102400215A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 杨建松;甘新武 | 申请(专利权)人: | 嘉兴嘉晶电子有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人: | 唐迅 |
地址: | 314500 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明所设计的一种多晶硅铸锭炉的可变热交换装置,在陶瓷坩埚下部设有是石墨体的热交换台,在热交换台上通过矩阵排列设有若干竖直向下的方形散热孔,在热交换台下部设有支撑板,在热交换台与支撑板之间设有保温塞,保温塞材质是保温碳毡,保温塞为下大上小的金字塔结构,底部最大处恰好与方形散热孔尺寸一致,保温塞的个数与位置排列与方形散热孔对应,支撑板固定在升降杆上,升降杆从外部穿过底部隔热板伸入内部。该多晶硅铸锭炉的可变热交换装置及其控制方法,通过在热场中使用一种可变热交换装置,并通过升降杆带动支撑板和保温塞一起上下移动,调节散热孔的散热能力,能够主动控制晶体下方的散热速率,有效控制晶体生长速率。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 可变 热交换 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉的可变热交换装置,它主要包括由顶部隔热板、侧面隔热筒和底部隔热板组成的隔热笼,及内部的加热器、石墨护板和陶瓷坩埚,其特征是在陶瓷坩埚下部设有是石墨体的热交换台,在热交换台上通过矩阵排列设有若干竖直向下的方形散热孔,在热交换台下部设有支撑板,在热交换台与支撑板之间设有保温塞,保温塞材质是保温碳毡,保温塞为下大上小的金字塔结构,底部最大处恰好与方形散热孔尺寸一致,保温塞的个数与位置排列与方形散热孔对应,支撑板固定在升降杆上,升降杆从外部穿过底部隔热板伸入内部。
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