[发明专利]多晶硅铸锭炉的可变热交换装置及其控制方法

摘要

本发明所设计的一种多晶硅铸锭炉的可变热交换装置，在陶瓷坩埚下部设有是石墨体的热交换台，在热交换台上通过矩阵排列设有若干竖直向下的方形散热孔，在热交换台下部设有支撑板，在热交换台与支撑板之间设有保温塞，保温塞材质是保温碳毡，保温塞为下大上小的金字塔结构，底部最大处恰好与方形散热孔尺寸一致，保温塞的个数与位置排列与方形散热孔对应，支撑板固定在升降杆上，升降杆从外部穿过底部隔热板伸入内部。该多晶硅铸锭炉的可变热交换装置及其控制方法，通过在热场中使用一种可变热交换装置，并通过升降杆带动支撑板和保温塞一起上下移动，调节散热孔的散热能力，能够主动控制晶体下方的散热速率，有效控制晶体生长速率。

主权项

一种多晶硅铸锭炉的可变热交换装置，它主要包括由顶部隔热板、侧面隔热筒和底部隔热板组成的隔热笼，及内部的加热器、石墨护板和陶瓷坩埚，其特征是在陶瓷坩埚下部设有是石墨体的热交换台，在热交换台上通过矩阵排列设有若干竖直向下的方形散热孔，在热交换台下部设有支撑板，在热交换台与支撑板之间设有保温塞，保温塞材质是保温碳毡，保温塞为下大上小的金字塔结构，底部最大处恰好与方形散热孔尺寸一致，保温塞的个数与位置排列与方形散热孔对应，支撑板固定在升降杆上，升降杆从外部穿过底部隔热板伸入内部。