[发明专利]薄膜光热性能的测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 201110350735.3 | 申请日： | 2011-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN102393370A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 徐俊海;赵元安;范正修 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种薄膜光热性能的测量装置和测量方法。本发明是在原有的表面热透镜技术的基础上，通过改变泵浦光束的调制频率，来获取探测信号的幅值和相位信号随频率的变化关系。将此关系与理论模型的计算结果对比后，可以得到薄膜内部的一些重要信息。本发明不仅能够测量薄膜的吸收率，还可以测量出单层膜的热导率以及一些强吸收杂质的深度分度，因此可以对薄膜的光热性能做出全面的评价，对优化镀膜工艺和探寻损伤机制等方面都有较大的辅助作用。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 光热 性能 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜光热性能的测量装置，其特征在于该装置的构成包括：泵浦光路：包括泵浦光激光器(1)，沿该泵浦光激光器(1)发出的泵浦光依次经第一衰减器(2)、第一缩束器(3)、能量监测器(4)、声光调制器(5)和第一聚焦透镜(6)后照射在二维移动平台(13)上的待测薄膜上；探测光路：包括探测光激光器(7)，沿该探测光激光器(7)发出的探测光依次经第二衰减器(8)和第二聚焦透镜(9)照射在所述的二维移动平台(13)上的待测薄膜上；由待测薄膜反射的光经滤光片(10)和第三聚焦透镜(11)进入光电探测器(12)，该光电探测器(12)的输出端接万用表(14)和锁相放大器(15)的输入端，所述的万用表(14)和锁相放大器(15)的输出端接计算机(16)，该计算机(16)的输出端接所述的二维移动平台(13)的控制端，所述的锁相放大器(15)的TTL输出端接所述的声光调制器(5)的输入端。
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