[发明专利]一种难加工材料的微精加工方法及加工系统

摘要

本发明涉及一种难加工材料的微精加工方法及加工系统，属于复合精密、微细特种加工技术领域，本发明所述的方法和实现该方法的加工系统将超声调制低压放电—电解有效复合，微精放电—电解作用与超声频振动同频、同步有机结合，依靠超声空化、火花放电爆炸力作用实现加工产物的排除与工作液的循环更新，有效改善加工间隙过程，提高定域加工性能,在具有高加工效率同时，可进一步提高加工精度、表面质量，同时可在静液中实现加工，无须复杂的工作液在压力流动、循环供给系统；加工中工件与电极保持一定恒压力接触，利用磁性调节机构，可进行微压力连续无级调节，无须电解加工必须的精密稳速微进给系统及电火花加工的伺服进给系统，可大大降低设备研制成本。

主权项

一种难加工材料的微精加工方法，其特征是，所述的方法是在超声激励下同时进行微细放电—电解作用，进行材料微精去除加工；微细放电—电解时使用直流或脉冲电源，其电加工电压幅值不超过6V；在工具电极与工件的间隙中注入低电导率工作液；加电加工时，超声振动激励低电压、静液电解作用，纳米级半导体微粉在超声激励下，致工具电极与工件间的电场畸变、增强，工作液及其中电解氢气泡及超声空化气泡被击穿，工件表面产生微细火花放电作用。