[发明专利]基于声光效应的MEMS微型加速度传感器无效
申请号: | 201110350814.4 | 申请日: | 2011-11-09 |
公开(公告)号: | CN102426268A | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
发明(设计)人: | 温志渝;张祖伟;辛毅 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | G01P15/093 | 分类号: | G01P15/093 |
代理公司: | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人: | 康海燕 |
地址: | 400030 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 基于声光效应的MEMS微型加速度传感器包括激光器、光波导系统、基于板波的声光移频器、光电探测器,其中光波导系统包括单模矩形光波导、锥形光波导、波导偏振器和波导反射镜。将光波导系统、基于板波的声光移频器通过MEMS微加工技术集成在硅片上,构成加速度敏感结构。加速度敏感结构输入端与激光器相连,输出端与光电探测器相连。在加速度敏感结构中,导光波穿过声光移频器激发的声场发生拉曼型声光衍射,提取出±n级衍射光进行叠加混频,产生一定频率的光拍信号,最后输出到光电探测器,通过检测光拍信号的频率变化来检测加速度的变化。本发明基于一种新的加速度检测原理,具有灵敏度高、准数字输出的特点。 | ||
搜索关键词: | 基于 声光 效应 mems 微型 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
基于声光效应的MEMS微型加速度传感器,包括激光器、光波导系统、基于板波的声光移频器和光电探测器;其特征在于:所述光波导系统、基于板波的声光移频器是通过MEMS微加工技术集成在硅基底上,构成加速度敏感结构;所述加速度敏感结构输入端与激光器相连,输出端与光电探测器相连;所述光波导系统引导激光穿过板波声光移频器激发的声场,发生拉曼型声光衍射,并在声光衍射后提取出±n级衍射光进行叠加产生光拍信号并输出到光电探测器,通过检测±n级衍射光频差的变化来检测加速度的变化。
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