[发明专利]基于声光效应的MEMS微型加速度传感器无效

专利信息
申请号: 201110350814.4 申请日: 2011-11-09
公开(公告)号: CN102426268A 公开(公告)日: 2012-04-25
发明(设计)人: 温志渝;张祖伟;辛毅 申请(专利权)人: 重庆大学
主分类号: G01P15/093 分类号: G01P15/093
代理公司: 重庆华科专利事务所 50123 代理人: 康海燕
地址: 400030 *** 国省代码: 重庆;85
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 基于声光效应的MEMS微型加速度传感器包括激光器、光波导系统、基于板波的声光移频器、光电探测器,其中光波导系统包括单模矩形光波导、锥形光波导、波导偏振器和波导反射镜。将光波导系统、基于板波的声光移频器通过MEMS微加工技术集成在硅片上,构成加速度敏感结构。加速度敏感结构输入端与激光器相连,输出端与光电探测器相连。在加速度敏感结构中,导光波穿过声光移频器激发的声场发生拉曼型声光衍射,提取出±n级衍射光进行叠加混频,产生一定频率的光拍信号,最后输出到光电探测器,通过检测光拍信号的频率变化来检测加速度的变化。本发明基于一种新的加速度检测原理,具有灵敏度高、准数字输出的特点。
搜索关键词: 基于 声光 效应 mems 微型 加速度 传感器
【主权项】:
基于声光效应的MEMS微型加速度传感器,包括激光器、光波导系统、基于板波的声光移频器和光电探测器;其特征在于:所述光波导系统、基于板波的声光移频器是通过MEMS微加工技术集成在硅基底上,构成加速度敏感结构;所述加速度敏感结构输入端与激光器相连,输出端与光电探测器相连;所述光波导系统引导激光穿过板波声光移频器激发的声场,发生拉曼型声光衍射,并在声光衍射后提取出±n级衍射光进行叠加产生光拍信号并输出到光电探测器,通过检测±n级衍射光频差的变化来检测加速度的变化。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆大学,未经重庆大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110350814.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code