[发明专利]显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置

摘要

本发明涉及一种显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，属于机械类。包括液压精密驱动控制单元、测试执行单元、三自由度调整工作台、测试检测单元、连接及支撑单元；伺服液压缸Ⅰ~Ⅳ的输出端分别与移动车架组相连，所述移动车架组与基板滑动连接；所述伺服液压缸Ⅰ、Ⅱ分别固定在前侧板上，伺服液压缸Ⅲ、Ⅳ分别固定在测力车架组上，卡具Ⅰ、Ⅱ分别固定在移动车架组及测试车架组的上方。优点在于：体积小、重量轻、刚度高、结构紧凑、测试精度高，并且能够在线监测试件微观变形以及损伤断裂过程，可提供的测试内容丰富等特点，可得材料的弹性模量、屈服极限及断裂强度等重要力学参数，也可获得样品的抗疲劳性能。

主权项

一种显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，其特征在于：包括液压精密驱动控制单元、测试执行单元、三自由度调整工作台、测试检测单元、连接及支撑单元；所述的液压精密驱动控制单元、测试执行单元是：伺服液压缸Ⅰ~Ⅳ（4、36、31、34）的输出端分别与移动车架组（5）相连，所述移动车架组（5）与基板（14）滑动连接；所述伺服液压缸Ⅰ、Ⅱ（4、36）分别通过螺钉固定安装在测试平台的前侧板（30）上，伺服液压缸Ⅲ、Ⅳ（31、34）分别固定在测力车架组（9）上，所述测力车架组（9）分别与光杠Ⅰ、Ⅱ（3、13）滑动套接；卡具Ⅰ、Ⅱ（6、8）分别通过固定块Ⅰ、Ⅱ（35、33）固定在移动车架组（5）及测试车架组（9）的上方。