[发明专利]一种基板铜面的化学清洗方法无效
| 申请号： | 201110353549.5 | 申请日： | 2011-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102510669A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 罗建军 | 申请（专利权）人： | 金悦通电子（翁源）有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/26;C23F1/46 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 华辉 |
| 地址： | 512627 广东省韶*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于基板加工技术领域，具体公开了一种基板铜面的化学清洗方法。它包括除油步骤、第一次溢流水洗步骤、微蚀步骤、第二次溢流水洗步骤、以及烘干步骤，在所述第一次溢流水洗步骤和微蚀步骤之间增加一除水步骤，在所述微蚀步骤的微蚀过程中不断回收硫酸铜，并根据微蚀液中各种成分的浓度变化补充微蚀液。本发明通过在微蚀之前除水、不断回收硫酸铜、以及补充微蚀液，从而使得微蚀液使用寿命可长达6个月，而且通过硫酸铜的回收，大大降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板铜面 化学 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种基板铜面的化学清洗方法，包括除油步骤、第一次溢流水洗步骤、微蚀步骤、第二次溢流水洗步骤、以及烘干步骤，其特征在于：在所述第一次溢流水洗步骤和微蚀步骤之间增加一除水步骤；在所述微蚀步骤的微蚀过程中不断回收硫酸铜，并根据微蚀液中各种成分的浓度变化补充微蚀液。
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