[发明专利]一种传输线自动阻抗匹配系统有效
申请号: | 201110353777.2 | 申请日: | 2011-11-09 |
公开(公告)号: | CN103107793A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 孙小孟;李勇滔;李英杰;赵章琰;秦威;夏洋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H03H7/40 | 分类号: | H03H7/40 |
代理公司: | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘丽君 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种传输线自动阻抗匹配系统,属于半导体制造技术领域。所述系统包括:功率相位检测模块,用于检测出射频信号的幅值与相位信息;位置监测模块,用于监测阻抗匹配网络的电容值信息;控制模块,用于根据幅值与相位信息和电容值信息,生成控制信号;直流电机驱动模块,用于根据控制信号生成不同的电压信号;阻抗匹配执行模块,用于根据电压信号调整阻抗匹配网络,实现等离子体腔室与传输线的阻抗匹配。本发明提供的传输线自动阻抗匹配系统可以实时跟踪等离子体腔室阻抗变化,并自动调节阻抗匹配网络实现快速、准确地自动阻抗匹配。 | ||
搜索关键词: | 一种 传输线 自动 阻抗匹配 系统 | ||
【主权项】:
一种传输线自动阻抗匹配系统,位于射频电源与等离子体腔室之间,其特征在于,所述系统包括:功率相位检测模块,用于检测出射频信号的幅值与相位信息,并通过A/D转换输出所述幅值与相位信息;位置监测模块,用于实时监测阻抗匹配网络的电容值信息,并通过A/D转换器发送所述电容值信息;控制模块,用于接收所述功率相位检测模块输出的幅值与相位信息,以及所述位置监测模块发送的电容值信息,并根据所述幅值与相位信息和电容值信息,生成控制信号,发送所述控制信号;直流电机驱动模块,用于接收所述控制信号,并根据所述控制信号生成不同的电压信号,发送所述电压信号;阻抗匹配执行模块,用于接收所述电压信号,并根据所述电压信号调整阻抗匹配网络,实现等离子体腔室与传输线的阻抗匹配。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所,未经中国科学院微电子研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110353777.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。