[发明专利]一种准一维金属氧化物纳米材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种准一维金属氧化物纳米材料的制备方法，该种纳米线材料是一种金属氧化物的纳米线，长度上可以达到数微米的级别，而在宽度及高度上仅有纳米级，材料呈现非晶的结构状态。该方法采用原子层沉积技术，将两种反应物分批次通入到反应腔中，吸附在衬底表面的反应物发生化学反应生成金属氧化物纳米线。氧化铝纳米线之间相互平行，表现出一定的择优取向的生长特性；同时，该方法操作简单，成本较低，可以通过编写程序进行控制，易于在工业上实现和推广。

主权项

一种准一维金属氧化物纳米材料的制备方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：1)采用普通透明胶带对高定向热解石墨进行微机械剥离后，将其放置在原子层沉积设备的生长腔内，准备进行纳米线生长；2)将需要进行反应的原材料三甲基铝、双氧水装入反应源中，反应温度设定为150℃，抽真空至8mTorr后启动程序自动控制反应过程；采用高纯N2作为反应辅助气氛，保证在反应腔中不会发生反应物氧化的现象；3)纳米线生长过程中，通过电阻丝加热方式使反应腔的温度稳定在预先设定的反应温度，反应源三甲基铝的反应和冲洗时间分别为：4s、20s，双氧水的反应和冲洗时间分别为0.2s、45s，通过设定的程序使反应重复进行；4)氧化铝纳米线的高度及宽度，通过控制反应周次进行控制。