[发明专利]用于背面照明传感器的共同注入

摘要

公开了一种用于图像感测的系统和方法。实施例包括具有像素区的衬底，该衬底具有正面和背面。沿着衬底的背面实施共同注入工艺，所述衬底的背面与沿着衬底的正面设置的感光元件相对。共同注入工艺利用形成预非晶化区的第一预非晶化注入工艺。然后注入掺杂剂，其中预非晶化区阻止或者减少了掺杂剂在感光区内的扩散或者拖尾。在共同注入区上方也可以形成抗反射层、滤色器、和微透镜。本发明还公开了一种用于背面照明传感器的共同注入。

主权项

一种器件，包括：衬底，具有像素区，所述衬底包括第一面和与所述第一面相对的第二面，所述衬底具有第一组分；感光元件，靠近所述像素区中的所述衬底的所述第一面；以及共同注入区，被设置为比所述感光元件更靠近所述衬底的所述第二面，所述共同注入区包括导电掺杂剂和既非p型掺杂剂也非n型掺杂剂的材料，所述共同注入区具有不同于所述第一组分的第二组分。