[发明专利]一种用于驱动磁控管的驱动机构及磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201110356144.7 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN103103482A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 刘旭;赵梦欣 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于驱动磁控管的驱动机构及磁控溅射设备，所述驱动机构包括箱体、旋转运动单元、传动单元以及直线运动单元，所述直线运动单元包括第一齿条、第二齿条、设有第一啮合部和第一非啮合部的第一齿轮以及设有第二啮合部和第二非啮合部的第二齿轮，当所述第一齿条与所述第一齿轮的第一啮合部啮合时，所述第二齿条处于所述第二齿轮的第二非啮合部位置；当所述第二齿条与第二齿轮的所述第二啮合部啮合时，所述第一齿条处于所述第一齿轮的第一非啮合部位置。该驱动机构在旋转运动单元向一个方向旋转的同时使第一驱动轮与第二驱动轮交错地驱动被驱动部件作直线运动，从而提高驱动机构的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 驱动 磁控管 机构 磁控溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种用于驱动磁控管的驱动机构，其包括箱体、旋转运动单元、传动单元以及直线运动单元，其中，所述直线运动单元和传动单元设置在所述箱体内，并在所述旋转运动单元的带动下，所述箱体、直线运动单元和传动单元绕所述旋转运动单元的转轴作旋转运动；所述传动单元用以使所述直线运动单元与所述旋转运动单元协调运动；所述直线运动单元驱动被驱动部件作直线运动；其特征在于，所述直线运动单元包括：第一齿条；第二齿条，其与所述第一齿条平行设置；第一齿轮，在所述第一齿轮的外周缘设有第一啮合部和第一非啮合部，且所述第一啮合部与所述第一齿条相配合；第二齿轮，在所述第二齿轮的外周缘设有第二啮合部和第二非啮合部，且所述第二啮合部与所述第二齿条相配合；所述第一齿轮与所述第二齿轮旋转方向相反，且当所述第一齿条与所述第一齿轮的第一啮合部啮合时，所述第二齿条处于所述第二齿轮的第二非啮合部位置；当所述第二齿条与第二齿轮的所述第二啮合部啮合时，所述第一齿条处于所述第一齿轮的第一非啮合部位置。
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