[发明专利]蚀刻机台水汽分离器的改良结构无效
| 申请号： | 201110356196.4 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN103100274A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 李泽清 | 申请（专利权）人： | 竞陆电子（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/30 | 分类号： | B01D46/30 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻机台水汽分离器的改良结构，所述水汽分离器包括腔体、可拆卸设置于所述腔体前端的前盖，所述腔体内形成有容置室，在该容置室内设置有拉西环。本发明既能够方便的清理置于腔体内的拉西环，又不会破坏腔体，易于水汽分离器的保养，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 机台 水汽 分离器 改良 结构 | ||
【主权项】：
一种蚀刻机台水汽分离器的改良结构，其特征在于：所述水汽分离器包括腔体(1)、可拆卸设置于所述腔体前端的前盖(2)，所述腔体内形成有容置室，在该容置室内设置有拉西环。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于竞陆电子（昆山）有限公司，未经竞陆电子（昆山）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110356196.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：家居环保用水系统
- 下一篇：一种Mo2FeB2基热喷涂合金粉末及其制备方法
