[发明专利]一种覆盖可见光宽波段的微光探测方法

摘要

本发明公开了一种覆盖可见光宽波段的微光探测方法，其特点是该方法将量子点-量子阱光电探测器与CMOS读出电路对接后置于设有微光测试系统的箱内，然后对微光进行探测时可直接读出覆盖可见光的宽波段。本发明与现有技术相比具有灵敏度高，信噪比大，探测波段范围宽，可对光功率<0.2nW的微光进行探测，在0.2nW激光光功率的光照下，读出电路在80μs积分时间内响应电压达到20mV，积分与曝光时间比现有技术至少降低1个数量级，满足了不同器件和信号大小可扩展的需要，有利于推动光电探测器在微光低辐照度探测领域的广泛应用。

主权项

一种覆盖可见光的宽波段微光探测方法，其特征在于该方法将量子点‑量子阱光电探测器与CMOS读出电路对接后置于设有微光测试系统的箱内，然后对微光进行探测时可直接读出覆盖可见光的宽波段，其具体探测包括以下步骤：（一）、光电探测器与读出电路的对接将量子点‑量子阱光电探测器与CMOS读出电路对接在一个基板上并焊接在杜瓦瓶里，以减少外部电磁干扰；（二）、微光测试系统微光测试系统由微光辐射光源、第一分光棱镜、第二分光棱镜、显微物镜、杜瓦瓶、白光灯、LCD显示器、工业电视监控器、微动台、测试电路和数字示波器构成的共轴光学测试平台，其中杜瓦瓶里焊接有对接后的光电探测器和读出电路； （三）、微光读出探测将上述微光测试系统置于0 nW背景信号的黑布覆盖的箱内，杜瓦瓶设置在120K温度下工作，并为光电探测器提供电压偏置和读出电路提供驱动信号，读出电路的两输出端分别接入数字双踪示波器，然后调节微动台使激光光斑照射在光电探测器的光敏元上，通过滑动设置在显微物镜前的遮光金属片分别测试读出电路无光照和有光照的输出电压，其两电压差为该光敏元上的微光响应电压，接着，再调节微动台使激光光斑照射在光电探测器的下一个光敏元上，重复上述步骤，直至完成所有阵列的量子点‑量子阱探测器的微光读出探测。