[发明专利]一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法

摘要

本发明公开一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法，分别以径向磁轴承定子内圆中心和径向位移传感器定子内圆中心为原点建立径向磁轴承坐标系和径向位移传感器坐标系。通过获得在径向磁轴承坐标系下所述径向保护轴承定子内圆中心坐标，得到所述径向磁轴承定子内圆中心与所述径向保护轴承定子内圆中心在X、Y方向的偏差。根据这一偏差，获得在径向位移传感器坐标系下的径向磁轴承定子内圆中心。通过上述过程调整转子的第一径向悬浮中心和第二径向悬浮中心于第一径向磁轴承定子内圆中心和第二径向磁轴承定子内圆中心处，保证磁悬浮分子泵系统稳定运行。

主权项

一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法，其特征在于，包括如下步骤：A.获取转子第一径向悬浮中心，包括如下步骤①在第一径向磁轴承装入所述磁悬浮分子泵之前，将所述第一径向磁轴承的X正向磁极对线圈和X负向磁极对线圈串联形成X方向磁极对线圈组，二者之间设为所述第一径向磁轴承的X向检测信号输出端；将第一径向磁轴承的Y正向磁极对线圈和Y负向磁极对线圈串联形成Y方向磁极对线圈组，二者间设为所述第一径向磁轴承的Y向检测信号输出端；②将第一径向磁轴承定子固定于标定台架上，并将转子插入第一径向磁轴承定子内圆中，以第一径向磁轴承定子内圆中心为坐标原点建立径向磁轴承坐标系；将所述第一径向磁轴承的X向磁极对线圈组和Y向磁极对线圈组分别连接于正弦激励信号S与地信号之间；将所述第一径向磁轴承的X向电压信号输出端与X向解调电路连接，所述X向解调电路的输出端输出X向检测电压信号Vx；将所述第一径向磁轴承的Y向电压信号输出端与Y向解调电路连接，所述Y向解调电路的输出端输出Y向检测电压信号Vy；Vx和Vy均为直流电压信号，利用所述第一径向磁轴承的X方向磁极对线圈组得到第一径向磁轴承坐标系下所述第一径向磁轴承的X向检测电压信号与转子X方向位移的数据关系Vx＝f(x)；利用所述第一径向磁轴承的Y向磁极对线圈组得到第一径向磁轴承坐标系下所述第一径向磁轴承的Y向检测电压信号与转子Y方向位移的数据关系Vy＝f(y)；③将所述第一径向磁轴承装入所述磁悬浮分子泵，使所述第一径向磁轴承的X向磁极对线圈组和Y向磁极对线圈组仍连接于正弦激励信号S与地信号之间；所述第一径向磁轴承的所述X向检测信号输出端仍与所述X向解调电路连接；所述第一径向磁轴承的所述Y向检测信号输出端仍与所述Y向解调电路连接；④得到转子位于所述第一径向保护轴承定子内圆中心时，所述X向解调电路输出的X向检测电压信号Vx1和所述Y向解调电路输出的Y向检测电压信号Vy1；由Vx1和Vx＝f(x)获得所述第一径向保护轴承定子内圆中心在第一径向磁轴承坐标系下的X方向坐标X′b0；由Vy1和Vy＝f(y)获得所述第一径向保护轴承定子内圆中心在第一径向磁轴承坐标系下的Y方向坐标Y′b0；即得到在第一径向磁轴承坐标系下，所述第一径向保护轴承定子内圆中心坐标(X′b0，Y′b0)；由此得到所述第一径向磁轴承与第一所述径向保护轴承在X、Y方向的同轴度偏差分别为ΔX0＝‑X′b0和ΔY0＝‑Y′b0；⑤以第一径向位移传感器定子内圆中心为坐标原点建立第一径向位移传感器坐标系并获得在第一径向位移传感器坐标系下，所述第一径向保护轴承定子内圆中心坐标(Xb0，Yb0)；⑥最终得到在第一径向位移传感器坐标系下，所述第一径向磁轴承定子内圆中心坐标为(Xb0‑X′b0，Xb0‑Y′b0)，此即为磁悬浮分子泵转子的第一径向悬浮中心；B.用与步骤A所述获取转子第一径向悬浮中心相同的方法获取转子第二径向悬浮中心。