[发明专利]一种曝光系统无效

专利信息
申请号: 201110357653.1 申请日: 2011-11-11
公开(公告)号: CN102402131A 公开(公告)日: 2012-04-04
发明(设计)人: 刘良军 申请(专利权)人: 深南电路有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 代理人: 彭愿洁;李文红
地址: 518000 广*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种曝光系统,包括放板台面、线路板、底片和玻璃盘,其中,放板台面、线路板、底片和玻璃盘横向依次垂直于水平面布置;放板台面用于安装在机械固定装置上,线路板被放板台面上设置的吸嘴吸住,而吸嘴的出气口用于通过导气管连接抽气装置;底片被玻璃盘上设置的吸气件吸住,而吸气件的出气口用于通过导气管连接抽气装置;或者底片通过胶带粘合在玻璃盘上;放板台面上设置有一圈密封胶圈,密封胶圈用于将放板台面与玻璃盘密封成一密闭空间,使线路板和底片封装在密闭空间内;其中,密闭空间内的气体通过放板台面上设置的第一吸气孔排出,使底片紧压线路板,而第一吸气孔的出气口用于通过导气管连接抽气装置。该曝光系统有效提升线路板的曝光质量。
搜索关键词: 一种 曝光 系统
【主权项】:
一种曝光系统,包括放板台面、线路板、底片和玻璃盘,其特征在于,所述放板台面、线路板、底片和玻璃盘横向依次垂直于水平面布置;所述放板台面用于安装在机械固定装置上,所述线路板被所述放板台面上设置的吸嘴吸住,而所述吸嘴的出气口用于通过导气管连接抽气装置;所述底片被所述玻璃盘上设置的吸气件吸住,而所述吸气件的出气口用于通过导气管连接抽气装置;或者所述底片通过胶带粘合在所述玻璃盘上;所述放板台面上设置有一圈密封胶圈,所述密封胶圈用于将所述放板台面与所述玻璃盘密封成一密闭空间,使所述线路板和所述底片封装在所述密闭空间内;其中,所述密闭空间内的气体通过所述放板台面上设置的第一吸气孔排出,使所述底片紧压所述线路板,而所述第一吸气孔的出气口用于通过导气管连接抽气装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深南电路有限公司,未经深南电路有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110357653.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top