[发明专利]一种曝光系统无效
申请号: | 201110357653.1 | 申请日: | 2011-11-11 |
公开(公告)号: | CN102402131A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 刘良军 | 申请(专利权)人: | 深南电路有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 彭愿洁;李文红 |
地址: | 518000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种曝光系统,包括放板台面、线路板、底片和玻璃盘,其中,放板台面、线路板、底片和玻璃盘横向依次垂直于水平面布置;放板台面用于安装在机械固定装置上,线路板被放板台面上设置的吸嘴吸住,而吸嘴的出气口用于通过导气管连接抽气装置;底片被玻璃盘上设置的吸气件吸住,而吸气件的出气口用于通过导气管连接抽气装置;或者底片通过胶带粘合在玻璃盘上;放板台面上设置有一圈密封胶圈,密封胶圈用于将放板台面与玻璃盘密封成一密闭空间,使线路板和底片封装在密闭空间内;其中,密闭空间内的气体通过放板台面上设置的第一吸气孔排出,使底片紧压线路板,而第一吸气孔的出气口用于通过导气管连接抽气装置。该曝光系统有效提升线路板的曝光质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 曝光 系统 | ||
【主权项】:
一种曝光系统,包括放板台面、线路板、底片和玻璃盘,其特征在于,所述放板台面、线路板、底片和玻璃盘横向依次垂直于水平面布置;所述放板台面用于安装在机械固定装置上,所述线路板被所述放板台面上设置的吸嘴吸住,而所述吸嘴的出气口用于通过导气管连接抽气装置;所述底片被所述玻璃盘上设置的吸气件吸住,而所述吸气件的出气口用于通过导气管连接抽气装置;或者所述底片通过胶带粘合在所述玻璃盘上;所述放板台面上设置有一圈密封胶圈,所述密封胶圈用于将所述放板台面与所述玻璃盘密封成一密闭空间,使所述线路板和所述底片封装在所述密闭空间内;其中,所述密闭空间内的气体通过所述放板台面上设置的第一吸气孔排出,使所述底片紧压所述线路板,而所述第一吸气孔的出气口用于通过导气管连接抽气装置。
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