[发明专利]空间立体式在线搬送系统无效
| 申请号： | 201110357739.4 | 申请日： | 2011-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN102514939A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 王赟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/90 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种空间立体式在线搬送系统，包括：带有导轨的天棚，设置在所述天棚底面、用于暂存基板的若干卡匣，位于卡匣下方、用于处理基板的若干处理设备，以及用于在卡匣与处理设备之间搬送基板的空中搬送装置，空中搬送装置与导轨滑动连接。本发明采用立体式搬送方式，将原本位于地面的机械手臂放置于高空，减少搬送系统的占地面积，将基板产线制程的处理设备集中放置，极大提高空间利用率，同时机械手臂在空中搬送，避免了设备间的阻碍，极大的提高搬送效率；此外，空中搬送装置靠近FFU，使得基板洁净度更高，可提高产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 立体 在线 系统 | ||
【主权项】：
一种空间立体式在线搬送系统，其特征在于，包括：带有导轨的天棚，设置在所述天棚底面、用于暂存基板的若干卡匣，位于所述卡匣下方、用于处理基板的若干处理设备，以及用于在所述卡匣与所述处理设备之间搬送基板的空中搬送装置，所述空中搬送装置与所述导轨滑动连接。
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