[发明专利]一种电致发光器件及其制备方法无效
| 申请号： | 201110358442.X | 申请日： | 2011-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN102364708A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 马向阳;杨扬;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L33/26 | 分类号： | H01L33/26;H01L33/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电致发光器件及其制备方法，属于光电子技术领域。本发明的电致发光器件包括P型硅衬底、自下而上依次沉积在P型硅衬底正面的发光层和电极层及沉积在P型硅衬底背面的欧姆接触电极，所述的发光层为掺Er的TiO2膜。制备所述的电致发光器件的方法为：在P型硅衬底正面通过磁控溅射法沉积掺Er的TiO2膜，利用直流溅射沉积电极层，在P型硅衬底的背面通过直流溅射沉积欧姆接触电极。本发明的电致发光器件结构简单且容易制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电致发光 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电致发光器件，包括P型硅衬底(1)、自下而上依次沉积在P型硅衬底(1)正面的发光层(2)和电极层(3)及沉积在P型硅衬底(1)背面的欧姆接触电极(4)，其特征在于，所述的发光层为掺Er的TiO2膜。
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