[发明专利]靶材热处理方法有效
| 申请号： | 201110359251.5 | 申请日： | 2011-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN102409147A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 潘杰;姚力军;王学泽;陈勇军 | 申请（专利权）人： | 余姚康富特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/68 | 分类号： | C21D1/68;C22F1/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材热处理方法，包括：提供靶材，所述靶材为铜磷合金；预热砂子；将已预热的砂子包覆所述靶材，对所述靶材进行热处理。与现有技术相比，本发明透过预热砂浴的加热方式，确保靶材均匀受热，实现其组织结构的均匀性，满足电镀要求。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材热处理方法，其特征在于，包括：提供靶材，所述靶材的材质为铜磷合金；预热砂子；将已预热的砂子包覆所述靶材，对所述靶材进行热处理。
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