[发明专利]反应处理装置与反应处理方法无效
申请号: | 201110359959.0 | 申请日: | 2011-11-14 |
公开(公告)号: | CN102465093A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 小岛健介;潟山浩;篠崎明;户田显;加藤义明;渡边英俊;世取山翼;梶原淳志;渡边俊夫;宫地政浩;穴口嵩记 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | C12M1/38 | 分类号: | C12M1/38;C12M1/00;C12Q3/00;C12Q1/68 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本文公开了一种反应处理装置与反应处理方法,该反应处理装置包括温度控制部,该温度控制部包括:第一温度控制部,布置在反应区域组的外周边缘部位处;以及平面型第二温度控制部。其中,该第一温度控制部和该第二温度控制部彼此相对地布置,反应区域组位于其间。 | ||
搜索关键词: | 反应 处理 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种反应处理装置,包括温度控制部,所述温度控制部控制反应区域组的外周边缘部位的温度。
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