[发明专利]一种直拉硅单晶的镓元素掺杂装置及其掺杂方法有效
| 申请号： | 201110360275.2 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102409395A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 孙新利;郭兵健;黄笑容;何国君;徐一俊 | 申请（专利权）人： | 浙江长兴众成电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 魏亮 |
| 地址： | 313100 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉硅单晶的镓元素掺杂装置，包括具有底部掺杂孔的掺杂杯，所述掺杂杯上设有悬挂结构，悬挂结构上设有与提拉夹头相匹配的吊杆；所述掺杂杯的材质为熔点高于硅且不易与熔硅反应的材质；所述掺杂孔内填充有固化的熔硅。本发明还提供了使用上述掺杂装置的直拉硅单晶的镓元素掺杂方法，其中使用前用熔硅封住掺杂杯底部掺杂孔；使用时下降掺杂杯至液面下3～8mm，浸没掺杂孔，待封住掺杂孔的硅料熔化，镓元素将沿着掺杂孔流向熔硅。本发明镓元素掺杂装置能够实现多次重复使用，在实现掺杂后，充分利用熔硅特点和单晶炉内温度分布特点对掺杂杯进行封闭，可多次使用，具有成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉硅单晶 元素 掺杂 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种直拉硅单晶的镓元素掺杂装置，其特征在于：包括具有底部掺杂孔(4)的掺杂杯(3)，所述掺杂杯上设有悬挂结构，悬挂结构上设有与提拉夹头相匹配的吊杆(1)；所述掺杂杯(3)的材质为熔点高于硅且不易与熔硅反应的材质；所述掺杂孔内填充有固化的熔硅。
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