[发明专利]一种适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴

摘要

一种适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴。涉及对片式半导体芯片进行精确拾取、移动、定位、放置的吸取装置。提供了一种结构更为简洁，不损伤芯片，能实现精确位置放置的适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴。包括柔性吸嘴、缸体、活塞、柔性推针和负压源；柔性吸嘴上开设有联通缸体内腔的通孔；柔性推针设置在通孔内，柔性推针的顶端固定连接在活塞的底部；缸体的顶面设有联通负压源的气孔；活塞的顶面上开设有至少一条使缸体内腔联通气孔的凹槽。本发明的吸嘴在无需另加控制的情况下，将芯片放置在没有粘附辅助措施的精确位置；实用性强，可靠性高，尤其适应微小薄形芯片的精确拾取、移动、定位、放置工序。

主权项

一种适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴，其特征在于，包括柔性吸嘴、缸体、活塞、柔性推针和负压源；所述柔性嘴座固定连接在缸体的下方；所述柔性吸嘴上开设有联通所述缸体内腔的通孔；所述柔性推针设置在所述通孔内，所述柔性推针的长度大于所述通孔的长度，所述柔性推针的直径小于所述通孔的直径，所述柔性推针的顶端固定连接在所述活塞的底部；所述活塞的直径小于所述缸体内腔的直径；所述缸体的顶面设有联通所述负压源的气孔；所述活塞的顶面上开设有至少一条使所述缸体内腔联通所述气孔的凹槽。