[发明专利]振动片、传感器单元及其制造方法、电子设备有效
| 申请号： | 201110361826.7 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102478401A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 小仓诚一郎;菊池尊行 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5628 | 分类号： | G01C19/5628;H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够进行泄漏输出的抑制调节的振动片、使用该振动片的传感器单元及其制造方法、以及搭载了这些振动片或传感器单元的电子设备。振动陀螺元件(11)具有基部(21)、以及从基部(21)的Y轴方向的两端部起分别延伸的一对驱动用振动臂(22a、22b)和一对检测用振动臂(23a、23b)。并且，从由基部(21)的X轴方向的两端部起分别延伸的连接臂(24a、24b)各自的末端部起，设有与驱动用振动臂(22a、22b)并行延伸的调节用振动臂(125a、125b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的末端侧具有作为加宽部的施重部(127a、127b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的主面设有用于对振动陀螺元件(11)的泄漏输出进行调节的作为膜体的调节用电极(145a、145b)。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 单元 及其 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部；从所述基部起延伸的第1振动臂和第2振动臂；以及设于所述第2振动臂的调节部，所述第2振动臂的输出信号与所述第1振动臂的泄漏振动的输出信号相位相反。
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