[发明专利]在多孔玻璃内部制备三维微流通道的方法有效
申请号: | 201110363901.3 | 申请日: | 2011-11-16 |
公开(公告)号: | CN102489873A | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 刘昌宁;廖洋;程亚;徐至展 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/12 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种在多孔玻璃内部制备三维微流通道的方法,该方法是采用非常廉价的Nd:YAG倍频激光器输出的倍频激光在多孔玻璃内部进行加工,利用电脑控制的三维平台的三维运动带动所述的多孔玻璃三维运动,并得到三维微流通道,本发明方法不仅可以节省成本,而且Nd:YAG激光器功率非常稳定,可广泛地应用于高校和工业界。 | ||
搜索关键词: | 多孔 玻璃 内部 制备 三维 流通 方法 | ||
【主权项】:
一种在多孔玻璃内部制备三维微流通道的方法,其特征在于该方法包括下列步骤:①先将多孔玻璃(9)块固定在一个透明的玻璃容器(8)中,再将该玻璃容器(8)固定在一个三维平移台(10)之上,然后在所述的玻璃容器(8)中注入罗丹明溶液(11),将所述的多孔玻璃(9)完全淹没;②Nd:YAG倍频激光器(1)发出的倍频光依次经小孔光阑(2)、衰减片(3)至分色镜(6),经该分色镜(6)反射,显微物镜(7)聚焦于多孔玻璃(9)内部,第一电脑(14)中设置程序控制驱动装置(13)驱动所述的三维平移台(10)运动,三维平移台(10)的运动又导致多孔玻璃(9)运动,冷光源(12)发出的光通过所述的玻璃容器(8)之底照射所述的多孔玻璃(9)底部,透射光线经所述的显微物镜(7)聚焦,透过所述的分色镜(6)后,由CCD(4)接收,该CCD(4)接收的图像输出至第二电脑(5),以便实时观察到整个加工过程;③光路调整好后,启动所述的Nd:YAG倍频激光器(1)、冷光源(12)、第一电脑(14)和第二电脑(5),所述的Nd:YAG倍频激光器(1)发出的中心波长为532nm,脉冲宽度为8ns,重复频率为10Hz的倍频光,依次经小孔光阑(2)、衰减片(3)至分色镜(6),经该分色镜(6)反射,显微物镜(7)聚焦于多孔玻璃(9)内部,渗透到多孔玻璃内部的罗丹明溶液(11)正好吸收波长为532nm的纳秒激光的同时产生大量热能,烧蚀多孔玻璃(9)内部,随着第一电脑(14)控制并通过所述的驱动装置(13)驱动所述的三维平移台(10)作三维运动,带动所述的多孔玻璃(9)三维运动,从而加工出三维微流通道;④将加工完毕之后的多孔玻璃(9)放入炉中进行热处理:以1℃/min的速度上升到1120℃,维持1120℃两小时之后,再降温到常温。
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