[发明专利]用于连续制造金属薄膜太阳能电池的淀积设备及方法

摘要

本发明涉及有机金属气体气相淀积系统，具体涉及一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积设备及方法,所述设备包括一个大型真空腔室及其附属真空排气装置；隔绝在所述真空腔室里至少有如下装置：连续性金属薄膜自动出料展料系统及收料系统；淀积反应区；金属气体淀积反应器，及其用于均匀喷洒有机金属气体的喷口组合；基材加热平台；其中所述淀积反应区位于所述出料展料系统和收料系统之间，所述金属气体淀积反应器及其用于喷洒有机金属气体的喷口组合位于所述淀积反应区的上方，所述的淀积反应区的下方设置所述加热平台。该设备采用卷带式金属薄膜连续制造砷化镓太阳能电池，极大的提高了生产效率，大辐度的降低了砷化镓太阳能电池制造成本。

主权项

一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积设备，其特征在于：所述设备包括一个大型真空腔室及其附属真空排气装置；隔绝在所述真空腔室里至少有如下装置：连续性金属薄膜自动出料展料系统及收料系统；淀积反应区；金属气体淀积反应器，及其用于均匀喷洒有机金属气体的喷口组合；基材加热平台；其中所述淀积反应区位于所述出料展料系统和收料系统之间，所述金属气体淀积反应器及其用于喷洒有机金属气体的喷口组合位于所述淀积反应区的上方，所述的淀积反应区的下方设置所述加热平台。