[发明专利]能量、动量二维解析的高分辨电子能量损失谱仪

摘要

本发明提供了一种能量、动量二维解析的电子能量损失谱仪。本发明解决了电子束源与角分辨电子能量分析器的高分辨率、高信号强度匹配问题。本发明提出的装置包括灵活的电子束源、角分辨模式出射透镜、角分辨电子能量分析器等。本发明是利用角分辨电子能量分析器来分析EELS中的低能非弹性散射电子束；将电子源的灵活性与优异单色化功能、角分辨模式透镜系统对电子束的良好平行汇聚功能、角分辨电子能量分析器对能量和动量的双重解析功能结合在一起，可以同时对非弹性散射电子的动量和能量进行二维解析，得到电子能量损失谱I(E，k)，从而为精确测定表面元激发的完整信息提供测量方法。

主权项

一种能量、动量二维解析的高分辨电子能量损失谱仪包括：低能电子源单元，发射低能单色电子束；角分辨模式出射透镜单元，将所述低能电子源单元出射的电子束聚焦为发散角小于0.5°的低能入射电子束，并将该低能入射电子束照射至样品；角分辨电子能量分析单元，接收由所述样品散射的非弹性散射电子，并对非弹性散射电子的电子能量和动量进行二维解析；信号采集和处理单元，采集经过所述角分辨电子能量分析单元解析的信号并进行处理，从而得到损失谱I(E，k)。