[发明专利]一种气体传感器及其制造工艺

摘要

本发明公开了一种气体传感器及其制造工艺，气体传感器包括硅基底、二氧化硅绝热截至层、叉指信号电极、测温电极、加热电极；所述的硅基底具有通孔结构，硅基底的上表面包括通孔的顶部设有二氧化硅层，所述的二氧化硅层采用表面工艺加工成悬臂结构。二氧化硅层上表面设有叉指信号电极、测温电极和加热电极组成的电极组，电极组上表面设有二氧化锡层本发明工艺将加热电极、叉指信号电极、测温电极制作于一层，降低了制造复杂度，提高了成品率；将传感器二氧化硅层腐蚀，形成悬臂结构，减小热量的传输通道，使得传感器的功耗更低。

主权项

一种气体传感器，其特征在于，由下至上依次为铝层、第一二氧化硅层、硅基底、第二二氧化硅层、电极组层以及二氧化锡层；其中，铝层、第一二氧化硅层以及硅基底为环形中空结构；所述电极组层分为中心区和外围区；中心区包括叉指信号电极，位于叉指信号电极外围的测温电极以及位于测温电极外围的加热电极；外围区包括叉指信号电极引出叉指信号电极触脚，测温电极引出测温电极触脚以及加热电极引出加热电极触脚；所述第二二氧化硅层位于相邻电极触脚之间的部分设置有窗口，第二二氧化硅层上相邻的窗口之间的部分构成悬臂结构；二氧化锡层位于电极组层中心区上方。