[发明专利]一种宏／微二维位移台

摘要

本发明涉及到一种宏／微二维位移台,包括宏动平台、微动平台及液压式驱动器。微动平台固定在宏动平台上。宏动平台采用十字滑块导向,钢球与V型块配合调整,结构简单,无传统导轨侧间隙,稳定性好，便于调整。微动平台采用直角型柔性铰链机构，十字型布局，无堆栈和耦合误差，体积小，线性度好。采用的液压式驱动器具有高刚度，良好的线性度，性能稳定，便于加工等优点。该宏／微平台解决了大行程与高定位精度间的矛盾，整体体积小，定位精度高，线性度好，可用于精密加工、误差补偿和精密测量领域。

主权项

一种宏/微二维位移台,其特征在于，由宏动部分、微动部分和微驱动部分组成，将整个位移量分为粗调和微调两部分；所述宏/微二维位移台包括微动平台（1）、微动平台复位弹簧（2）、微动平台挡板（3）、宏动平台复位上弹簧（4）、宏动平台后挡板（5）、宏动平台（6）、宏动平台X方向导向钢球（7）、十字滑块（8）、基体（9）、宏动平台复位下弹簧（10）、基体后挡板（11）、X方向液压油动力源(12)、接头及油管(13)、液压式微驱动器(14)、Y方向液压油动力源(15)、X方向调整螺栓（16）、半球型衬套（17）、Y方向千分尺（18）、基体前挡板压块（19）、基体前挡板（20）、宏动平台前挡板压块（21）、宏动平台前挡板（22）、X方向千分尺（23）、宏动平台Y方向导向钢球（24）、Y方向调整螺栓（25）；所述宏动平台（6）通过宏动平台X方向导向钢球（7）和十字滑块(8)上V型槽的配合连接在十字滑块(8)上；十字滑块(8)通过宏动平台Y方向导向钢球(24)和基体(9)上V型槽的配合连接到基体(9)上；宏动平台X方向导向钢球(7)、宏动平台Y方向导向钢球(24)分别安装在半球型衬套(17)内，分别通过X方向调整螺栓(16)和Y方向调整螺栓(25)推动球型衬套和钢球，调整钢球和V型槽的配合紧密程度，使十字滑块(8)和宏动平台(6)与基体(9)的无隙接触和宏动平台(6)的自锁；X方向千分尺（23）由宏动平台前挡板压块（21）和宏动平台前挡板（22）固定，Y方向千分尺（18）由基体前挡板压块（19）和基体前挡板（20）固定，所述X方向千分尺（23）和Y方向千分尺（18）分别驱动宏动平台（6）的单向运动，使宏动平台(6)作二维运动；宏动平台复位上弹簧(4)和宏动平台复位下弹簧（10）分别使十字滑块（8）和X方向千分尺（23）、十字滑块（8）和Y方向千分尺（18）的无隙接触，以及宏动平台（6）的有效回程；所述微动平台（1）通过内六角螺栓固定在宏动平台（6）上，使微动平台（1）和宏动平台（6）一起运动；所述微动平台（1）采用“十”字型布局，由同一平板加工而成，整体结构关于X和Y方向分别对称，工作台的四个顶端处分别布置有两个直角型柔性铰链；所述的直角型柔性铰链，采用半圆形切口，采用成90°的双杆复合而成，在双杆上均布有四个半圆形切口，每个顶端处的两个直角型柔性铰链采用镜像对称模式，成“口”字型布置；所述两个相同的液压式驱动器（14）分别通过内六角螺栓连接在微动平台（1）的X方向和Y方向上，分别使微动平台（1）的X和Y方向上的微位移；在液压式微驱动器（14）的对称一侧位置上分别装有一个微动平台复位弹簧（2），使液压式微驱动器（14）和微动十字平台的无隙接触，以及微动十字平台的有效回程。