[发明专利]第二代高温超导带材中超导层的连续化快速激光镀膜方法

摘要

一种第二代高温超导带材中超导层的连续化快速激光镀膜方法，通过超导靶材沿x-y轴二维进动扫描的方法使靶材整个表面都得到利用，并可使激光蒸发镀膜过程能够稳定持续的进行下去。通过激光斑点沿带材运动方向扫描的办法增加了沿带材运动方向的镀膜区间。通过在加热器上方的带辊上多次缠绕带材的办法，增加了垂直于带材运动方向的镀膜区宽度。充分地将已蒸发物质最大限度地收集到了金属基带上，有效提高了带材制备速度、增加了靶材及已蒸发物质的利用率、大大提高了生产效率、降低了带材制造成本。从而解决了适合于大规模工业化生产的第二代高温超导带材超导层快速镀膜问题。

主权项

一种第二代高温超导带材中超导层的连续化快速激光镀膜方法，其特征在于，该方法包含以下步骤：步骤1、将已镀完复合隔离层即将需要制备超导层的金属基带装入镀膜腔，多次缠绕在多通道激光镀膜设备的金属带材传动装置的带辊II上；步骤2、启动加热器，将加热器温度升到设定的镀膜温度；步骤3、待加热器温度稳定后，打开氧气通道；步骤4、待镀膜腔内的镀膜温度和气压稳定后，启动稀土氧化物超导靶材，激光镀膜靶材操纵器和激光束斑扫描装置开始沿稀土氧化物超导靶材的x‑方向和y‑方向扫描及旋转运动； 步骤5、启动激光器，打开激光器的光路窗口，开始对稀土氧化物超导靶材进行预蒸发；步骤6、预蒸发过程完成后，启动金属带材传动装置，按设定的镀膜速度开始超导层镀膜过程；步骤7、镀膜过程结束后，关闭激光器的光路窗口，关闭加热器，等所有已镀膜的金属基带I都通过带辊II缠绕在卷盘上后，停止牵引金属基带I传动的步进电机；步骤8、等加热器温度降低到50oC以下时，打开氮气阀门，使真空镀膜腔内充氮气至1个大气压，打开镀膜腔门，取出已镀完超导层的带材；步骤9、清洗镀膜腔，开始下一次镀膜工艺。