[发明专利]一种具有高介电常数复合介质膜铝电极箔的制备方法无效

专利信息
申请号: 201110370280.1 申请日: 2011-11-21
公开(公告)号: CN102509626A 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 冯哲圣;张宁;陈金菊;张睿 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01G9/04 分类号: H01G9/04
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 葛启函
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种具有高介电常数复合介质膜铝电极箔的制备方法,属于电子材料技术领域。本发明在溶胶-凝胶法制备的钛酸钡体系中添加一定比例低温液相法制备的SBA材料组成高介电复合材料,然后将铝腐蚀箔浸渍于该高介电复合材料后进行高温热处理,最后通过阳极氧化在铝腐蚀箔表面生长高介电常数复合介质膜。由于钛酸钡与SBA材料的介电常数都比铝阳极氧化膜高,并且SBA的引入能有效控制钛酸钡在复合介质膜中的成分分布状态,对高介电相的介电性能起稳定作用,使得钛酸钡在复合介质膜中充分发挥其高介电性能,有效提高了铝电极箔的比容。本发明工艺简单易控,可与铝电极箔腐蚀、化成工艺生产线实现联动生产,所制备的铝化成箔比容与传统工艺相比在低压段有约40%的提高。
搜索关键词: 一种 具有 介电常数 复合 介质 电极 制备 方法
【主权项】:
一种具有高介电常数复合介质膜铝电极箔的制备方法,包括以下步骤:步骤1:将硝酸铝与亚硫酸氢钠同时溶解于乙二醇甲醚中,室温下搅拌得到溶液一,控制溶液一浓度在0.1~0.5mol/L之间,其中硝酸铝与亚硫酸氢钠的摩尔比为1∶1~40∶1之间;步骤2:将乙酸钡溶解于冰醋酸中,得到溶液二,控制溶液二浓度在0.1~1mol/L之间;步骤3:将钛酸丁酯溶解于乳酸中,60~80℃下搅拌得到溶液三,控制溶液三浓度在0.1~1mol/L之间;步骤4:将步骤3所得溶液三缓慢加入步骤2所得溶液二中,得到溶液四,控制钛酸丁酯与乙酸钡的摩尔比为1∶1,同时加入冰醋酸调整溶液四的pH值在1~2之间;步骤5:将步骤1所得的溶液一加入步骤4所得溶液四中,得到溶液五,控制硝酸铝与乙酸钡的摩尔比为1∶5~1∶50之间;然后将溶液五陈化处理20小时以上;步骤6:将铝腐蚀箔浸渍于步骤5所得陈化处理后的溶液五中1~10分钟,然后取出,用离子水清洗并烘干;步骤7:将经步骤6处理过的铝腐蚀箔进行热处理,热处理温度控制在300~550℃之间,热处理时间为2~30分钟;步骤8:将经步骤7处理过的铝腐蚀箔进行阳极氧化处理,得到最终具有高介电常数复合介质膜铝电极箔。
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