[发明专利]一种多晶硅锭制造装置无效
| 申请号： | 201110370448.9 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN103122476A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 李川川 | 申请（专利权）人： | 常州市万阳光伏有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 张利强 |
| 地址： | 213115 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅锭制造装置，包括坩埚、支撑板、加热器、冷却板、隔热板、高纯石英玻璃层、温度传感器，所述坩埚固定在支撑板上，所述加热器设在坩埚周围，所述隔热板设在加热器周围，加热器内壁设有温度传感器，冷却板位于坩埚下部，高纯石英玻璃层设置在坩埚内壁。本发明多晶硅锭制造装置能有效的控制加热温度以及加热时间，显著提高多晶硅锭晶粒的定向性，生产出的硅锭性能较佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅锭制造装置，其特征在于：包括坩埚(1)、支撑板(2)、加热器(3)、冷却板(4)、隔热板(5)、高纯石英玻璃层(6)、温度传感器(7)，所述坩埚(1)固定在支撑板(2)上，所述加热器(3)设在坩埚(1)周围，所述隔热板(5)设在加热器(3)周围，加热器(3)内壁设有温度传感器(7)，冷却板(4)位于坩埚下部，高纯石英玻璃层(6)设置在坩埚(1)内壁。
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