[发明专利]一种基于氧化铝纳米线薄膜的湿敏传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201110370627.2 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN102507660A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 冯哲圣;陈信洁;陈金菊;邓浩 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/02 | 分类号： | G01N27/02 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种基于氧化铝纳米线薄膜的湿敏传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述传感器包括氧化铝纳米线薄膜及位于氧化铝纳米线薄膜表面的金属对电极。所述制备包括步骤1：对铝膜或铝片进行包括高温退火、清洗去污和抛光的预处理；步骤2：阳极氧化获得多孔氧化铝膜；步骤3：化学蚀刻获得氧化铝纳米线膜；步骤4：蒸镀电极。本发明制备过程简单、材料消耗少，工艺的可重复性和可控性很高，易于批量生产；所制备的基于氧化铝纳米线材料的湿敏传感器在在相对湿度的全程范围内都有响应(尤其是低湿度下更灵敏)、灵敏度高、线性度良好；吸湿/脱湿性能良好，可以在较广的温度范围及复杂环境下使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 氧化铝 纳米 薄膜 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于氧化铝纳米线薄膜的湿敏传感器，包括氧化铝纳米线薄膜及位于氧化铝纳米线薄膜表面的金属对电极；所述氧化铝纳米线薄膜位于衬底基片表面。
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