[发明专利]钨钛靶材坯料的制作方法有效
申请号: | 201110372337.1 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN102366833A | 公开(公告)日: | 2012-03-07 |
发明(设计)人: | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | B22F3/14 | 分类号: | B22F3/14 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种钨钛靶材坯料的制作方法,包括:首先提供钨钛粉末;接着将钨钛粉末放置入真空包套,抽真空;然后采用热等静压工艺进行烧结成型;完成烧结成型后,进行冷却并拆除真空包套取出钨钛靶材坯料。采用本发明提供的钨钛靶材坯料的制作方法,避免使用模具,同时,形成的钨钛靶材坯料的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的钨钛靶材坯料的致密度、内部组织结构的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 钨钛靶材 坯料 制作方法 | ||
【主权项】:
一种钨钛靶材坯料的制作方法,其特征在于,包括:提供钨钛粉末;将钨钛粉末放置入真空包套,抽真空;采用热等静压工艺进行烧结成型;完成烧结成型后,进行冷却并拆除真空包套取出钨钛靶材坯料。
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