[发明专利]一种电沉积-液相自组装制备硫化钐薄膜的方法

摘要

一种电沉积-液相自组装制备硫化钐薄膜的方法，将SmCl2加入六甲基磷酰三胺溶液中得溶液A；向溶液A中加入EDTA得溶液B；向溶液B中加入硫代乙酰胺得溶液C；调节溶液C的pH值至2.5-5.0得前驱液D；将前驱液D置于电沉积装置中，将功能化的硅基板作为阴极，采用石墨为阳极，在电压为0.5～15V下沉积10～60min制备硫化钐薄膜；沉积结束后，将制备好的薄膜置于真空干燥箱中干燥得硫化钐纳米薄膜。本发明采用电沉积-液相自组装法制备硫化钐薄膜，制得的硫化钐纳米薄膜，均匀，致密，低缺陷，强度高，并且通过控制前驱液浓度、pH值以及沉积时间可以控制薄膜厚度和晶粒大小。这种方法制备的硫化钐纳米薄膜重复性高，易于大面积制膜。且操作方便，原料易得，制备成本较低。

主权项

一种电沉积‑液相自组装制备硫化钐薄膜的方法，其特征在于：1)取0.05‑0.50g的氯化亚钐置于烧杯中，向烧杯中加入10‑60mL的六甲基磷酰三胺溶液搅拌均匀得溶液A；2)向溶液A中加入0.01‑2.00g的乙二胺四乙酸(EDTA)，常温下磁力搅拌均匀得溶液B；3)向溶液B中加入0.01‑1.00g分析纯的硫代乙酰胺(C2H5NS)搅拌均匀得溶液C；4)用氨水调节溶液C的pH值至2.5‑5.0得前驱液D；5)将羟基化的硅基板置于体积浓度为1～2％的OTS(十八烷基三氯硅烷)的甲苯溶液中在室温下浸泡10～50min，取出后分别用丙酮、四氯化碳冲洗，然后用氮气吹干，在氮气气氛中，于110～135℃干燥5～20min得OTS硅基板；6)将干燥的OTS硅基板放在紫外线照射仪中，紫外光辐射波波长184.9nm，在一个大气压下，保持照射距离为1～3cm，照射10～60min，使OTS头基的烷基在紫外光的光激发下进行羟基化转变，得到OTS功能化后的硅基板；7)将前驱液D置于电沉积装置中，将功能化的硅基板作为阴极，采用石墨为阳极，在电压为0.5～15V下沉积10～60min制备硫化钐薄膜；8)沉积结束后，将制备好的薄膜置于真空干燥箱中50～90℃干燥10～30min得硫化钐纳米薄膜。