[发明专利]长晶方法与应用此长晶方法的长晶炉有效
申请号: | 201110375157.9 | 申请日: | 2011-11-16 |
公开(公告)号: | CN103114324A | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 杨镇豪;翁林梁;周建纲;陈俞仲 | 申请(专利权)人: | 茂迪股份有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新北市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种长晶方法与应用此长晶方法的长晶炉。此长晶炉包含坩埚、支撑物、加热器、冷却器以及至少一个隔板。在此长晶方法中,首先将隔板设置于坩埚和支撑物间,以于坩埚上形成(或定义)至少一个低热传导区域和至少一个高热传导区域。然后,利用加热器来提供热能,以熔融坩埚中的晶体原料。接着,利用冷却器来冷却被熔融的晶体原料,以使晶体原料形成晶粒。当晶体原料形成晶粒时,晶体原料的热能是透过支撑物和隔板来传导至冷却器,以使低热传导区域与高热传导区域的邻接处所形成的晶粒的尺寸大于坩埚其它区域所形成的晶粒的尺寸。 | ||
搜索关键词: | 方法 应用 长晶炉 | ||
【主权项】:
一种长晶炉,其特征在于,包含:一坩埚,用以承载一晶体原料;一加热器,是用以提供热能以熔融该晶体原料;一冷却器,是用以吸收热能以冷却该晶体原料;一支撑物,位于该坩埚和该冷却器间,用以支撑该坩埚;以及至少一隔板,设置于该坩埚和该支撑物间,并具有至少一隔热部,该隔热部邻接于该坩埚和该支撑物,以于该坩埚上形成至少一低热传导区域与至少一高热传导区域;其中,当该冷却器冷却该晶体原料时,该冷却器是透过该支撑物和该至少一隔板来吸收该晶体原料的热能。
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