[发明专利]基于悬吊测辐射热微板的红外检测器无效
| 申请号： | 201110376352.3 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102538982A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 若弗鲁瓦·迪蒙;阿涅丝·阿诺;萨利姆·布塔米;皮埃尔·因佩里内蒂;亚历山大·玛莉;斯特凡·波卡斯;维尔弗里德·拉博 | 申请（专利权）人： | 原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G01J5/02;G01J5/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;李翔 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： |
提供一种用于检测预定的红外或太赫兹波长范围内的电磁辐射的测辐射热阵列检测器，所述检测器包括：基板(16)；和通过支撑臂悬吊于基板上方的用于检测所述辐射的测辐射热微板阵列。它包括置于每个微板顶部和周围并且其中形成开口(26)的金属膜；和金属膜(22)中的所述开口(26)以等于或小于 |
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| 搜索关键词： | 基于 悬吊 辐射热 红外 检测器 | ||
【主权项】：
1.一种测辐射热阵列检测器，用于检测预定的红外或太赫兹波长范围内的电磁辐射，所述检测器包括：基板(16)；和通过支撑臂(18)悬吊于基板(16)上方的用于检测所述辐射的测辐射热微板(14)阵列，其特征在于：所述检测器包括置于每个微板(14)顶部和周围并且其中形成开口(26)的金属膜(22)；和金属膜(22)中的所述开口(26)以等于或小于![]()
的周期沿至少一个预定轴周期性地位于所述金属膜(22)中，其中λ是待检测的波长范围内的波长并且n是使微板(14)相对于金属膜(22)隔开的介质的平均折射率。
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