[发明专利]绘制表面轮廓的方法和装置有效
| 申请号： | 201110376531.7 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN102538706A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 叶夫根尼·沃罗比耶夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾红霞;段斌 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种绘制表面轮廓的方法和装置。该方法包括：沿至少两个方向依次地向目标物体投射狭缝图案光，以获得由目标物体反射的图案图像，根据方向使用图案图像获得高度，获得示出高度的最大变化方向的矢量场，获得与至少两个方向对应的高度的可靠性指数，使用可靠性指数和矢量场获得整合的矢量场，以及，使用整合的矢量场计算目标物体的每个位置的高度。因此，提高了精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 绘制 表面 轮廓 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种绘制表面轮廓的方法，包括：沿至少两个方向依次地向目标物体投射狭缝图案光，以获得由所述目标物体反射的图案图像；根据所述方向使用图案图像获得高度；获得示出高度的最大变化方向的矢量场；获得与至少两个方向对应的高度的可靠性指数；使用所述可靠性指数和所述矢量场获得整合的矢量场；以及使用所述整合的矢量场计算所述目标物体的每个位置的高度。
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