[发明专利]一种用于产生空心光束的位相型光瞳滤波器

摘要

本发明涉及一种可以产生空心光束的位相型光瞳滤波器，该滤波器用于数值孔径为0.85的物镜聚焦时，能够在焦点附近形成三维的局域空心光束。该位相型光瞳滤波器为矩形刻蚀的二环位相结构，其归一化半径为0.7≤r₁≤0.721，r₂＝1，位相调制深度为或且本发明可以使线偏振单色平面波聚焦后，在焦点附近轴向和横向实现局域空心光束。本发明矩形刻蚀二环位相光瞳滤波器可由微电子光刻工艺、刻蚀工艺、以及复制工艺加工而成，具有制造容差大，可以低成本、大批量生产的优点，可以应用于对微观粒子的光学囚禁和光学操纵等领域中。

主权项

一种用于产生空心光束的位相型光瞳滤波器，其特征在于该滤波器具有二环结构，且为矩形刻蚀的位相光瞳滤波器。