[发明专利]光刻机工件台陀螺定轴式稳定装置

摘要

光刻机工件台陀螺定轴式稳定装置属于半导体光学光刻制造技术；在基台上安装可平行移动的平衡质量块，在平衡质量块沿X轴两侧部位上分别安装X向第一和第二直线电机定子，X向第一和第二直线电机动子分别气浮安装在X向第一和第二直线电机定子上，在X向第一与第二直线电机动子之间刚性固装带有Y向直线电机定子的Y向导轨，Y向直线电机动子气浮安装于Y向导轨上，硅片承载台固定在Y向直线电机动子侧部上，气浮连接在基台上的硅片台支承座与硅片承载台刚性连接，在平衡质量块四角处的槽坑内分别固装第一、二、三、四陀螺稳定装置；本装置能够实时抵抗扭转趋势，减小扭转量，保证动量守恒的精确性，提高定位精度。

主权项

一种光刻机工件台陀螺定轴式稳定装置，其特征在于：在基台(1)上端通过气浮导轨连接安装平衡质量块(2)，所述的平衡质量块(2)可在X、Y平面内自由平移运动，通过在基台(1)上端面中间部位处的凸台(13)限定平衡质量块(2)的运动行程，在平衡质量块(2)沿X轴两侧部位上分别对称安装X向第一直线电机定子(5a)和X向第二直线电机定子(5b)，X向第一直线电机动子(6a)和X向第二直线电机动子(6b)通过气浮导轨分别安装在X向第一直线电机定子(5a)和X向第二直线电机定子(5b)上，在X向第一与第二直线电机动子(6a)与(6b)之间刚性固定Y向导轨(8)，Y向直线电机定子(9)固装在Y向导轨(8)上，Y向直线电机动子(7)通过气浮导轨安装在Y向导轨(8)上，硅片承载台(10)刚性固定在Y向直线电机动子(7)的侧部上，硅片台支承座(3)底部通过气浮连接于基台(1)上，硅片台支承座(3)的顶部与硅片承载台(10)刚性连接；在平衡质量块(2)四角处对称设有四个槽坑，由内部带有高速回转体的机械陀螺仪(12)和陀螺仪固定座(11)构成第一陀螺稳定装置(4a)、第二陀螺稳定装置(4b)、第三陀螺稳定装置(4c)、第四陀螺稳定装置(4d)沿Y轴方向分别刚性固装在四个槽坑内，陀螺仪固定座(11)与槽坑固连。