[发明专利]一种基于自主同步调向的双工件台回转交换方法与装置

摘要

一种基于自主同步调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由回转换台电机定子、回转换台电机动子以及旋转连接件构成的回转换台装置，工件台均设置有自旋装置，该自旋装置包括自旋电机定子、自旋电机动子、自旋电机动子转接件，回转换台装置与自旋电机动子转接件对接带动工件台绕基台中心旋转实现位置交换；本装置解决了现有回转换台存在的工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，具有转动惯量小、在相同转矩条件下换台时间短、工件台的运行效率高和光刻机产率高的特点。

主权项

一种基于自主同步调向的双工件台回转交换方法，其特征在于该方法步骤是：初始工作状态，位于预处理工位的第二工件台预对准工作完毕，曝光工位的第一工件台曝光完毕；第一步，曝光完毕的第一工件台由Y向长行程直线运动单元和X向第一长行程运动单元驱动到换台预定位置，同样预对准完毕的第二工件台由Y向长行程直线运动单元和X向第一长行程运动单元驱动到换台预定位置，然后，第一工件台和第二工件台与回转换台装置对接，即第一自旋电机动子转接件、第二自旋电机动子转接件与旋转连接件对接；第二步，回转换台装置带动第一工件台、第二工件台绕轴O‑O′顺时针或逆时针旋转180°，第一工件台到达预对准工位，第二工件台到达曝光工位，完成位置交换，同时第一自旋装置与第二自旋装置分别驱动第一工件台和第二工件台实现在绕轴O‑O′旋转时不自旋，在旋转过程中工件台各侧面始终与初始状态平行，安装在工件台上的激光干涉仪反射镜的朝向始终不变，同时第一线缆台与第一工件台在Y方向保持相对静止，第二线缆台与第二工件台在Y方向保持相对静止；第三步，X向第一长行程运动单元回到预定位置，并与第二工件台转接装置对接，同时X向第二长行程运动单元回到预定位置并与第一工件台转接装置对接，然后，旋转连接件松开第一自旋电机动子转接件和第二自旋电机动子转接件，第一工件台和第二工件台与回转换台装置分离，此时第一工件台由Y向长行程直线运动单元和X向第二长行程运动单元驱动到预处理工位的预定位置下、上片、预对准处理，第二工件台由Y向长行程直线运动单元和X向第一长行程运动单元驱动到曝光预定位置，并进行曝光处理，此时 系统回到初始工作状态，完成一个工作周期，接下来为下一轮曝光工序，即重复上面的工序和换台流程，为避免线缆缠绕，回转换台装置旋转方向与上次相反。