[发明专利]一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法

摘要

一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换装置与方法，属于半导体制造装备技术领域，该系统包括运行于预对准工位和曝光工位的工件台，在预对准工位和曝光工位分别设置一个井型驱动单元，井型驱动单元由双侧X向直线运动单元和双侧Y向直线运动单元组成，且两个井型驱动单元之间设置有两个Y向过渡直线运动单元；通过Y向直线运动单元与Y向过渡直线运动单元的对接完成双工件台换台。本发明中两个工件台在预对准和曝光工位中均为双边质心驱动，可增加系统角刚度，且两个工件台在预对准工位和曝光工位之间交换时仅需三个节拍，可提高光刻效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和结构刚度大等优点。

主权项

一种基于双导轨双驱的三节拍双工件台交换方法，其特征在于：完成三节拍换台过程的步骤如下：a)初始工作状态时，第一工件台由Y向第一直线电机动子一夹持，并由Y向第一直线运动单元驱动达到曝光工位，同时Y向第二直线运动单元从初始位置到达曝光工位，Y向第二直线电机动子开始夹持第一工件台，从而第一工件台在Y向第一直线运动单元和Y向第二直线运动单元双边质心驱动，进行曝光处理；与此同时，第二工件台由Y向第四直线电机动子一夹持，并由Y向第四直线运动单元驱动到达预对准工位，同时Y向第三直线运动单元从初始位置到达预对准工位，Y向第三直线电机动子开始夹持第二工件台，从而第二工件台在Y向第三直线运动单元和Y向第四直线运动单元双边质心驱动，进行预对准处理；b)第一工件台完成曝光工序后，由Y向第一直线电机动子一夹持，并由Y向第一直线运动单元驱动下由曝光工位回到初始位置，同时Y向第二直线电机动子的夹持机构松开第一工件台，Y向第二直线运动单元从曝光工位回到初始位置；与此同时，第二工件台完成预对准工序后，由Y向第四直线电机动子一夹持，并由Y向第四直线运动单元驱动下从预对准工位达到初始位置，同时Y向第三直线电机动子的夹持机构松开第二工件台，Y向第三直线运动单元从预对准工位回到初始位置；c)第一工件台在Y向第一直线电机动子一的夹持下沿着Y向第一静压气浮导轨、Y向第二过渡静压气浮导轨、Y向第三静压气浮导轨运动到预对准侧，卸下曝光的晶圆，并装载新的晶圆，与此同时，第二工件台在Y向第四直线电机动子一的夹持下沿着Y向第四静压气浮导轨、Y向第一过渡静压气浮导轨、Y向第二静压气浮导轨运动到曝光侧；d)第一工件台由Y向第一直线电机动子一夹持，并由Y向第三直线运动单元驱动达到预对准工位，同时Y向第四直线运动单元从初始位置到达预对准工位，Y向第四直线电机动子二开始夹持第一工件台，从而第一工件台在Y向第三直线运动单元和Y向第四直线运动单元双边质心驱动，进行预对准处理；与此同时，第二工件台由Y向第四直线电机动子一夹持，并由Y向第二直线运动单元驱动达到曝光工位，同时Y向第一直线运动单元从初始位置到达曝光工位，Y向第一直线电机动子2开始夹持第二工件台，从而第二工件台在Y向第一直线运动单元和Y向第二直线运动单元双边质心驱动，进行曝光处理，此时系统回到初始状态，完成一个工作周期。