[发明专利]场发射显示器及其显示阵列基板的制造方法

摘要

一种场发射显示器及其显示阵列基板的制造方法，此显示阵列基板的制造方法包括以下步骤。提供一具有一介电层的基材。将多个高分子颗粒附着于介电层上。以氧等离子体处理附着的高分子颗粒，以减小每一高分子颗粒的粒径，使这些高分子颗粒彼此分离。形成一栅极层覆盖介电层以及附着其上的高分子颗粒。移除附着在介电层上的高分子颗粒，而在栅极层中形成多个开口暴露出一部分的介电层。移除暴露部分的介电层，以在介电层中形成多个孔洞。于每一孔洞中形成一发射器。本发明同时具有提高亮度以及减少缺陷的优点。

主权项

一种显示阵列基板的制造方法，适用于一场发射显示器，包含：提供一基材，该基材包含一介电层；附着多个高分子颗粒于该介电层上；以氧等离子体处理所述多个附着的高分子颗粒，减小每一所述多个高分子颗粒的一粒径，使所述多个高分子颗粒彼此分离；形成一栅极层覆盖该介电层以及所述多个附着的高分子颗粒；移除所述多个附着的高分子颗粒，以于该栅极层中形成多个开口暴露出一部分的该介电层；移除该暴露部分的介电层，以于该介电层中形成多个孔洞；以及于每一所述多个孔洞中形成一发射器。