[发明专利]一种固定磨料化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201110379522.3 | 申请日： | 2011-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN102490111A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 白英英;黄耀东;张守龙;张明华;陈玉文 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种固定磨料化学机械研磨装置，包括：研磨机台；固定研磨微粒带，设置于所述研磨机台上；供料滚轴和回料滚轴，分别设置于所述固定研磨微粒带两端，所述固定研磨微粒带卷设于所述供料滚轴和回料滚轴上；激光器，设置于所述供料滚轴的内部；光学感应器，设置于卷设有固定研磨微粒带的供料滚轴外侧，并且处于所述激光器发出的光线路径上。本发明提出的固定磨料化学机械研磨装置，能够实时的探测到带状固定研磨微粒快被消耗殆尽的长度点，避免晶圆由于接触到没有研磨颗粒的研磨带而被严重刮伤。同时节省了通过良率检测步骤检测出被刮伤晶圆的时间和成本，并且由于本方法检测的实时性，避免了后续晶圆也受到同样影响的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 磨料 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种固定磨料化学机械研磨装置，其特征在于，包括：研磨机台；固定研磨微粒带，设置于所述研磨机台上；供料滚轴和回料滚轴，分别设置于所述固定研磨微粒带两端，所述固定研磨微粒带卷设于所述供料滚轴和回料滚轴上；激光器，设置于所述供料滚轴的内部；光学感应器，设置于卷设有固定研磨微粒带的供料滚轴外侧，并且处于所述激光器发出的光线路径上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110379522.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
